GERİ DÖN
Ders Öğretim Planı
| Dersin Kodu | Dersin Adı | Dersin Türü | Yıl | Yarıyıl | AKTS |
|---|---|---|---|---|---|
| FYL560 | MİKROÇİP ÜRETİMİ II | Seçmeli Ders Grubu | 1 | 1 | 5,00 |
Dersin Seviyesi
Yüksek Lisans
Dersin Sunulduğu Dil
Dersin Amacı
Mikroçip üretimi, mikroçipin yapısı, mikroçip üretiminde laboratuar koşulları, gerekli cihazlar ve bunların uygulama şekilleri
Dersi Veren Öğretim Görevlisi/Görevlileri
Prof. Dr. Hidayet ÇETİN
Öğrenme Çıktıları
| 1 | Litografi tekniklerini öğrenmek |
| 2 | Yarıiletken katkılama teorisi ve yöntemlerini öğrenmek |
| 3 | Epitaksiyel büyütme ve depo etme yöntemleri ile teorilerini öğrenmek |
| 4 | Entegre devre üretimini öğrenmek |
| 5 | Güncel mikroçip teknolojisini takip eder. |
Öğretim Sistemi
Birinci Öğretim
Dersin Ön Koşulu Olan Dersler
Yok
Ders İçin Önerilen Diğer Hususlar
Yok
Dersin İçeriği
Litografi teknikleri, ileri litografik süreçler, katkılama, epitaksiyel büyütme, depolama yöntemleri, wafer test ve değerlendirme
Haftalık Ayrıntılı Ders İçeriği
| Hafta | Konular (Teorik) | Öğretim Yöntem ve Teknikleri | Ön Hazırlık |
|---|---|---|---|
| 1 | İleri fotolitografik süreçler | ||
| 2 | Entegre devre üretiminde katkılama | ||
| 3 | Depo etme yöntemleri I (CVD, PECVD, LPCVD, VPE) | ||
| 4 | Depo etme yöntemleri II (MOCVD, deposited films, deposited semiconductors)) | ||
| 5 | Yalıtkanlar ve dielektrikler | ||
| 6 | SOS ve SOI | ||
| 7 | Metalizasyon | ||
| 8 | Vakum pompaları | ||
| 9 | Arasınav+ders tekrarı | ||
| 10 | Wafer test ve değerlendirmesi | ||
| 11 | Yarıiletken aygıtlar ve entegre devre elemanları oluşturma | ||
| 12 | Entegre devre çeşitleri | ||
| 13 | Paketlemeye giriş | ||
| 14 | Paketleme yöntemleri | ||
| 15 |
Ders Kitabı / Malzemesi / Önerilen Kaynaklar
1. Microchip Fabrication, A proactical guide to semiconductor processing, Peter Van Zant, 3 rd edition, 1997.
Planlanan Öğrenme Aktiviteleri ve Metodları
Değerlendirme
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | Adet | Değer |
|---|---|---|
| Ara Sınav | 1 | 60 |
| Quiz | 1 | 40 |
| Toplam | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | Adet | Değer |
| Final Sınavı | 1 | 100 |
| Toplam | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | 40 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | 60 | |
Staj Durumu
Yok
İş Yükü Hesaplaması
| Etkinlikler | Sayısı | Süresi (saat) | Toplam İş Yükü (saat) |
|---|---|---|---|
| Final Sınavı | 1 | 1 | 1 |
| Tartışma | 14 | 2 | 28 |
| Soru-Yanıt | 4 | 1 | 4 |
| Takım/Grup Çalışması | 14 | 1 | 14 |
| Rapor Hazırlama | 14 | 2 | 28 |
| Seminer | 4 | 6 | 24 |
| Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma | 1 | 10 | 10 |
| Okuma | 14 | 2 | 28 |
| Toplam İş Yükü (saat) | 137 | ||
Program ve Öğrenme Çıktıları İlişkisi
| PÇ 1 | PÇ 2 | PÇ 3 | PÇ 4 | PÇ 5 | PÇ 6 | PÇ 7 | PÇ 8 | PÇ 9 | PÇ 10 | |
| ÖÇ 1 | 3 | 3 | 2 | 4 | 3 | 4 | 2 | 3 | 4 | 5 |
| ÖÇ 2 | 3 | 4 | 3 | 4 | 3 | 5 | 2 | 4 | 3 | 3 |
| ÖÇ 3 | 1 | 2 | 3 | 4 | 4 | 3 | 4 | 5 | 5 | 5 |
| ÖÇ 4 | 3 | 3 | 3 | 4 | 4 | 4 | 5 | 5 | 5 | 5 |
| ÖÇ 5 | 4 | 4 | 4 | 5 | 5 | 5 | 4 | 4 | 5 | 5 |
* Katkı Düzeyi : 1 Çok düşük 2 Düşük 3 Orta 4 Yüksek 5 Çok yüksek