GERİ DÖN
Ders Öğretim Planı
| Dersin Kodu | Dersin Adı | Dersin Türü | Yıl | Yarıyıl | AKTS |
|---|---|---|---|---|---|
| FYL560 | MİKROÇİP ÜRETİMİ II | Seçmeli Ders Grubu | 1 | 2 | 5,00 |
Dersin Seviyesi
Yüksek Lisans
Dersin Sunulduğu Dil
Dersin Amacı
Mikroçip üretimi, mikroçipin yapısı, mikroçip üretiminde laboratuar koşulları, gerekli cihazlar ve bunların uygulama şekilleri
Dersi Veren Öğretim Görevlisi/Görevlileri
Prof. Dr. Hidayet ÇETİN
Öğrenme Çıktıları
| 1 | Litografi tekniklerini öğrenmek |
| 2 | Yarıiletken katkılama teorisi ve yöntemlerini öğrenmek |
| 3 | Epitaksiyel büyütme ve depo etme yöntemleri ile teorilerini öğrenmek |
| 4 | Entegre devre üretimini öğrenmek |
Öğretim Sistemi
Birinci Öğretim
Dersin Ön Koşulu Olan Dersler
-
Ders İçin Önerilen Diğer Hususlar
-
Dersin İçeriği
Litografi teknikleri, ileri litografik süreçler, katkılama, epitaksiyel büyütme, depolama yöntemleri, wafer test ve değerlendirme
Haftalık Ayrıntılı Ders İçeriği
| Hafta | Konular (Teorik) | Öğretim Yöntem ve Teknikleri | Ön Hazırlık |
|---|---|---|---|
| 1 | İleri fotolitografik süreçler | ||
| 2 | Entegre devre üretiminde katkılama | ||
| 3 | Depo etme yöntemleri I (CVD, PECVD, LPCVD, VPE) | ||
| 4 | Depo etme yöntemleri II (MOCVD, deposited films, deposited semiconductors)) | ||
| 5 | Yalıtkanlar ve dielektrikler | ||
| 6 | SOS ve SOI | ||
| 7 | Metalizasyon | ||
| 8 | Vakum pompaları | ||
| 9 | Arasınav+ders tekrarı | ||
| 10 | Wafer test ve değerlendirmesi | ||
| 11 | Yarıiletken aygıtlar ve entegre devre elemanları oluşturma | ||
| 12 | Entegre devre çeşitleri | ||
| 13 | Paketlemeye giriş | ||
| 14 | Paketleme yöntemleri | ||
| 15 |
Ders Kitabı / Malzemesi / Önerilen Kaynaklar
1. Microchip Fabrication, A proactical guide to semiconductor processing, Peter Van Zant, 3 rd edition, 1997.
Planlanan Öğrenme Aktiviteleri ve Metodları
Değerlendirme
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | Adet | Değer |
|---|---|---|
| Ara Sınav | 1 | 60 |
| Quiz | 1 | 40 |
| Toplam | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | Adet | Değer |
| Final Sınavı | 1 | 100 |
| Toplam | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | 40 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | 60 | |
Staj Durumu
-
İş Yükü Hesaplaması
| Etkinlikler | Sayısı | Süresi (saat) | Toplam İş Yükü (saat) |
|---|---|---|---|
| Final Sınavı | 1 | 1 | 1 |
| Tartışma | 14 | 2 | 28 |
| Soru-Yanıt | 4 | 1 | 4 |
| Takım/Grup Çalışması | 14 | 1 | 14 |
| Rapor Hazırlama | 14 | 2 | 28 |
| Seminer | 4 | 6 | 24 |
| Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma | 1 | 10 | 10 |
| Okuma | 14 | 2 | 28 |
| Toplam İş Yükü (saat) | 137 | ||
Program ve Öğrenme Çıktıları İlişkisi
| PÇ 1 | PÇ 2 | PÇ 3 | PÇ 4 | PÇ 5 | PÇ 6 | PÇ 7 | PÇ 8 | PÇ 9 | PÇ 10 | |
| ÖÇ 1 | 3 | 3 | 2 | 4 | 3 | 4 | 2 | 3 | 4 | 5 |
| ÖÇ 2 | 3 | 4 | 3 | 4 | 3 | 5 | 2 | 4 | 3 | 3 |
| ÖÇ 3 | 1 | 2 | 3 | 4 | 4 | 3 | 4 | 5 | 5 | 5 |
| ÖÇ 4 | 3 | 3 | 3 | 4 | 4 | 4 | 5 | 5 | 5 | 5 |
* Katkı Düzeyi : 1 Çok düşük 2 Düşük 3 Orta 4 Yüksek 5 Çok yüksek