GERİ DÖN
Ders Öğretim Planı
| Dersin Kodu | Dersin Adı | Dersin Türü | Yıl | Yarıyıl | AKTS |
|---|---|---|---|---|---|
| FYL559 | MİKROÇİP ÜRETİMİ I | Seçmeli Ders Grubu | 1 | 1 | 5,00 |
Dersin Seviyesi
Yüksek Lisans
Dersin Sunulduğu Dil
Dersin Amacı
Mikroçip üretimi, mikroçipin yapısı, mikroçip üretiminde laboratuar koşulları, gerekli cihazlar ve bunların uygulama şekilleri
Dersi Veren Öğretim Görevlisi/Görevlileri
Prof. Dr. Hidayet ÇETİN
Öğrenme Çıktıları
| 1 | Yarıiletken endüstrisini öğrenmek |
| 2 | Process kimyasallarını ve bunların uygulamalarını öğrenmek |
| 3 | Temiz oda koşullarını öğrenmek |
| 4 | Mikroçip mimari yöntemlerini ve uygulamalarını öğrenmek |
| 5 | Güncel mikrpçip teknolojisini takip eder. |
Öğretim Sistemi
Birinci Öğretim
Dersin Ön Koşulu Olan Dersler
Yok
Ders İçin Önerilen Diğer Hususlar
Yok
Dersin İçeriği
Yarıiletken endüstrisine genel bakış, yarıiletken malzemeler ve bunlara ilişkin proses kimyasalları, kristal büyütme yöntemleri, kontaminasyon kontrolü
Haftalık Ayrıntılı Ders İçeriği
| Hafta | Konular (Teorik) | Öğretim Yöntem ve Teknikleri | Ön Hazırlık |
|---|---|---|---|
| 1 | Yarıiletken endüstrisinin tarihsel gelişimi | ||
| 2 | Temel yarıiletken elemanlar ve bunların sınıflandırılması | ||
| 3 | Kontaminasyon ve kaynakları I | ||
| 4 | Kontaminasyon ve kaynakları II | ||
| 5 | Fermionlar ve bozonlar, leptonlar ve hadronlar, parçacıklar ve antiparçacıklar | ||
| 6 | Temiz oda sınıflandırılmaları I | ||
| 7 | Temiz oda sınıflandırmaları ve temiz hava stratejileri | ||
| 8 | Wafer üretiminin temelleri | ||
| 9 | Wafer üretiminin temelleri | ||
| 10 | Ürün verimi | ||
| 11 | Oksidasyon | ||
| 12 | Oksidasyonda kullanılan fırın ve proses çeşitleri | ||
| 13 | Fotolitografiye giriş | ||
| 14 | Litografi yöntemleri |
Ders Kitabı / Malzemesi / Önerilen Kaynaklar
1. Microchip Fabrication, A proactical guide to semiconductor processing, Peter Van Zant, 3 rd edition, 1997.
Planlanan Öğrenme Aktiviteleri ve Metodları
Değerlendirme
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | Adet | Değer |
|---|---|---|
| Ara Sınav | 1 | 60 |
| Quiz | 1 | 40 |
| Toplam | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | Adet | Değer |
| Final Sınavı | 1 | 100 |
| Toplam | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | 40 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | 60 | |
Staj Durumu
Yok
İş Yükü Hesaplaması
| Etkinlikler | Sayısı | Süresi (saat) | Toplam İş Yükü (saat) |
|---|---|---|---|
| Final Sınavı | 1 | 1 | 1 |
| Tartışma | 14 | 2 | 28 |
| Soru-Yanıt | 4 | 1 | 4 |
| Takım/Grup Çalışması | 14 | 1 | 14 |
| Rapor Hazırlama | 14 | 2 | 28 |
| Seminer | 4 | 6 | 24 |
| Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma | 1 | 10 | 10 |
| Okuma | 14 | 2 | 28 |
| Toplam İş Yükü (saat) | 137 | ||
Program ve Öğrenme Çıktıları İlişkisi
| PÇ 1 | PÇ 2 | PÇ 3 | PÇ 4 | PÇ 5 | PÇ 6 | PÇ 7 | PÇ 8 | PÇ 9 | PÇ 10 | |
| ÖÇ 1 | 3 | 3 | 2 | 4 | 3 | 4 | 2 | 3 | 4 | 5 |
| ÖÇ 2 | 3 | 4 | 3 | 4 | 3 | 5 | 2 | 4 | 3 | 3 |
| ÖÇ 3 | 1 | 2 | 3 | 4 | 4 | 3 | 4 | 5 | 5 | 5 |
| ÖÇ 4 | 3 | 3 | 3 | 4 | 4 | 4 | 5 | 5 | 5 | 5 |
| ÖÇ 5 | 4 | 4 | 4 | 5 | 5 | 5 | 4 | 4 | 4 | 4 |
* Katkı Düzeyi : 1 Çok düşük 2 Düşük 3 Orta 4 Yüksek 5 Çok yüksek