GERİ DÖN

Ders Öğretim Planı


Dersin Kodu Dersin Adı Dersin Türü Yıl Yarıyıl AKTS
FYL559 MİKROÇİP ÜRETİMİ I Seçmeli Ders Grubu 1 2 5,00

Yüksek Lisans



Mikroçip üretimi, mikroçipin yapısı, mikroçip üretiminde laboratuar koşulları, gerekli cihazlar ve bunların uygulama şekilleri


Prof. Dr. Hidayet ÇETİN


1 Yarıiletken endüstrisini öğrenmek
2 Process kimyasallarını ve bunların uygulamalarını öğrenmek
3 Temiz oda koşullarını öğrenmek
4 Mikroçip mimari yöntemlerini ve uygulamalarını öğrenmek

Birinci Öğretim


-


-


Yarıiletken endüstrisine genel bakış, yarıiletken malzemeler ve bunlara ilişkin proses kimyasalları, kristal büyütme yöntemleri, kontaminasyon kontrolü


Hafta Konular (Teorik) Öğretim Yöntem ve Teknikleri Ön Hazırlık
1 Yarıiletken endüstrisinin tarihsel gelişimi
2 Temel yarıiletken elemanlar ve bunların sınıflandırılması
3 Kontaminasyon ve kaynakları I
4 Kontaminasyon ve kaynakları II
5 Fermionlar ve bozonlar, leptonlar ve hadronlar, parçacıklar ve antiparçacıklar
6 Temiz oda sınıflandırılmaları I
7 Temiz oda sınıflandırmaları ve temiz hava stratejileri
8 Wafer üretiminin temelleri
9 Arasınav+ders tekrarı
10 Ürün verimi
11 Oksidasyon
12 Oksidasyonda kullanılan fırın ve proses çeşitleri
13 Fotolitografiye giriş
14 Litografi yöntemleri
15

1. Microchip Fabrication, A proactical guide to semiconductor processing, Peter Van Zant, 3 rd edition, 1997.



Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri Adet Değer
Ara Sınav 1 60
Quiz 1 40
Toplam 100
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri Adet Değer
Final Sınavı 1 100
Toplam 100
Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri 40
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri 60

-


Etkinlikler Sayısı Süresi (saat) Toplam İş Yükü (saat)
Final Sınavı 1 1 1
Tartışma 14 2 28
Soru-Yanıt 4 1 4
Takım/Grup Çalışması 14 1 14
Rapor Hazırlama 14 2 28
Seminer 4 6 24
Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma 1 10 10
Okuma 14 2 28
Toplam İş Yükü (saat) 137

PÇ 1 PÇ 2 PÇ 3 PÇ 4 PÇ 5 PÇ 6 PÇ 7 PÇ 8 PÇ 9 PÇ 10
ÖÇ 1 3 3 2 4 3 4 2 3 4 5
ÖÇ 2 3 4 3 4 3 5 2 4 3 3
ÖÇ 3 1 2 3 4 4 3 4 5 5 5
ÖÇ 4 3 3 3 4 4 4 5 5 5 5
* Katkı Düzeyi : 1 Çok düşük 2 Düşük 3 Orta 4 Yüksek 5 Çok yüksek