Dersin Kodu | Dersin Adı | Dersin Türü | Yıl | Yarıyıl | AKTS |
---|---|---|---|---|---|
FYL559 | MİKROÇİP ÜRETİMİ I | Seçmeli Ders Grubu | 1 | 2 | 5,00 |
Yüksek Lisans
Mikroçip üretimi, mikroçipin yapısı, mikroçip üretiminde laboratuar koşulları, gerekli cihazlar ve bunların uygulama şekilleri
Prof. Dr. Hidayet ÇETİN
1 | Yarıiletken endüstrisini öğrenmek |
2 | Process kimyasallarını ve bunların uygulamalarını öğrenmek |
3 | Temiz oda koşullarını öğrenmek |
4 | Mikroçip mimari yöntemlerini ve uygulamalarını öğrenmek |
Birinci Öğretim
-
-
Yarıiletken endüstrisine genel bakış, yarıiletken malzemeler ve bunlara ilişkin proses kimyasalları, kristal büyütme yöntemleri, kontaminasyon kontrolü
Hafta | Konular (Teorik) | Öğretim Yöntem ve Teknikleri | Ön Hazırlık |
---|---|---|---|
1 | Yarıiletken endüstrisinin tarihsel gelişimi | ||
2 | Temel yarıiletken elemanlar ve bunların sınıflandırılması | ||
3 | Kontaminasyon ve kaynakları I | ||
4 | Kontaminasyon ve kaynakları II | ||
5 | Fermionlar ve bozonlar, leptonlar ve hadronlar, parçacıklar ve antiparçacıklar | ||
6 | Temiz oda sınıflandırılmaları I | ||
7 | Temiz oda sınıflandırmaları ve temiz hava stratejileri | ||
8 | Wafer üretiminin temelleri | ||
9 | Arasınav+ders tekrarı | ||
10 | Ürün verimi | ||
11 | Oksidasyon | ||
12 | Oksidasyonda kullanılan fırın ve proses çeşitleri | ||
13 | Fotolitografiye giriş | ||
14 | Litografi yöntemleri | ||
15 |
1. Microchip Fabrication, A proactical guide to semiconductor processing, Peter Van Zant, 3 rd edition, 1997.
Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | Adet | Değer |
---|---|---|
Ara Sınav | 1 | 60 |
Quiz | 1 | 40 |
Toplam | 100 | |
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | Adet | Değer |
Final Sınavı | 1 | 100 |
Toplam | 100 | |
Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | 40 | |
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | 60 |
-
Etkinlikler | Sayısı | Süresi (saat) | Toplam İş Yükü (saat) |
---|---|---|---|
Final Sınavı | 1 | 1 | 1 |
Tartışma | 14 | 2 | 28 |
Soru-Yanıt | 4 | 1 | 4 |
Takım/Grup Çalışması | 14 | 1 | 14 |
Rapor Hazırlama | 14 | 2 | 28 |
Seminer | 4 | 6 | 24 |
Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma | 1 | 10 | 10 |
Okuma | 14 | 2 | 28 |
Toplam İş Yükü (saat) | 137 |
PÇ 1 | PÇ 2 | PÇ 3 | PÇ 4 | PÇ 5 | PÇ 6 | PÇ 7 | PÇ 8 | PÇ 9 | PÇ 10 | |
ÖÇ 1 | 3 | 3 | 2 | 4 | 3 | 4 | 2 | 3 | 4 | 5 |
ÖÇ 2 | 3 | 4 | 3 | 4 | 3 | 5 | 2 | 4 | 3 | 3 |
ÖÇ 3 | 1 | 2 | 3 | 4 | 4 | 3 | 4 | 5 | 5 | 5 |
ÖÇ 4 | 3 | 3 | 3 | 4 | 4 | 4 | 5 | 5 | 5 | 5 |