GERİ DÖN
Ders Öğretim Planı
| Dersin Kodu | Dersin Adı | Dersin Türü | Yıl | Yarıyıl | AKTS |
|---|---|---|---|---|---|
| EEMYL502 | MİKRO ELEKTROMEKANİK SENSÖRLER(MEMS) | Seçmeli Ders Grubu | 1 | 1 | 5,00 |
Dersin Seviyesi
Yüksek Lisans
Dersin Sunulduğu Dil
Türkçe
Dersin Amacı
Mikro sensörlerin üretiminde kullanılan temel tekniklerin tanıtımı, Çeşitli mikro mekanik sensörlerin kullanımı, çalışma prensipleri ve üretim teknikleri, Bir mikro mekanik sensörün tasarımı konularında bilgi sahibi olunması amaçlanmıştır.
Dersi Veren Öğretim Görevlisi/Görevlileri
Dr. Öğr. Üyesi Önder Dincel
Öğrenme Çıktıları
| 1 | .Temel silikon teknolojisi tabanlı mikro üretim tekniklerinin kavrar. |
| 2 | Temel sensörler hakkında bilgi sahibi olur. |
| 3 | Elektronik bağlantı ara yüzlerini tanır. |
| 4 | Paketleme işlemini gerçekleştirir. |
| 5 | Diagramlar ve membranlar hakkında bilgi sahibi olur. |
Öğretim Sistemi
Birinci Öğretim
Dersin Ön Koşulu Olan Dersler
Yok
Ders İçin Önerilen Diğer Hususlar
-
Dersin İçeriği
Temel silikon teknolojisi tabanlı mikro üretim teknikleri. Yüzey ve hacim micro şekil verme. Temel mekanik sensörler. Diagramlar ve membranlar. Kuvvet ve basınç sensörleri. İvme ve açısal değişim sensörleri. Akım sensörleri. Rezonant sensörleri. Elektronik bağlantı ara yüzleri. Paketleme.
Haftalık Ayrıntılı Ders İçeriği
| Hafta | Konular (Teorik) | Öğretim Yöntem ve Teknikleri | Ön Hazırlık |
|---|---|---|---|
| 1 | Giriş | ||
| 2 | Mikro sensörlerde üretiminde kullanılan temel tekniklerin tanıtımı | ||
| 3 | Temel silikon teknolojisi tabanlı mikro üretim teknikleri | ||
| 4 | Çeşitli mikro mekanik sensörlerin kullanımı | ||
| 5 | Temel mekanik sensörler | ||
| 6 | Yüzey ve hacim micro şekil verme | ||
| 7 | Diagramlarve Membranlar | ||
| 8 | Arasınav | ||
| 9 | Kuvvet ve basınç sensörleri | ||
| 10 | İvme ve açısal değişim sensörleri | ||
| 11 | Akım sensörleri | ||
| 12 | Rezonant sensörleri | ||
| 13 | Elektronik bağlantı ara yüzleri | ||
| 14 | Paketleme |
Ders Kitabı / Malzemesi / Önerilen Kaynaklar
LIU, Chang. Foundations of MEMS. Pearson Education India, 2012. 2nd Edition
Planlanan Öğrenme Aktiviteleri ve Metodları
Değerlendirme
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | Adet | Değer |
|---|---|---|
| Ara Sınav | 1 | 40 |
| Ev Ödevi | 3 | 60 |
| Toplam | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | Adet | Değer |
| Final Sınavı | 1 | 100 |
| Toplam | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | 40 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | 60 | |
Staj Durumu
-
İş Yükü Hesaplaması
| Etkinlikler | Sayısı | Süresi (saat) | Toplam İş Yükü (saat) |
|---|---|---|---|
| Ara Sınav | 1 | 2 | 2 |
| Final Sınavı | 1 | 2 | 2 |
| Derse Katılım | 14 | 3 | 42 |
| Ödev Problemleri için Bireysel Çalışma | 2 | 15 | 30 |
| Ara Sınav İçin Bireysel Çalışma | 1 | 10 | 10 |
| Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma | 1 | 10 | 10 |
| Okuma | 15 | 1 | 15 |
| Ev Ödevi | 3 | 6 | 18 |
| Toplam İş Yükü (saat) | 129 | ||
Program ve Öğrenme Çıktıları İlişkisi
| PÇ 1 | PÇ 2 | PÇ 3 | PÇ 4 | PÇ 5 | PÇ 6 | PÇ 7 | PÇ 8 | PÇ 9 | PÇ 10 | PÇ 11 | |
| ÖÇ 1 | 5 | 3 | 2 | 5 | |||||||
| ÖÇ 2 | 5 | 1 | 1 | 4 | |||||||
| ÖÇ 3 | 4 | 2 | 2 | 5 | |||||||
| ÖÇ 4 | 3 | 1 | 1 | 5 | |||||||
| ÖÇ 5 | 4 | 4 | 1 | 5 |
* Katkı Düzeyi : 1 Çok düşük 2 Düşük 3 Orta 4 Yüksek 5 Çok yüksek