[GeriDon]
[DersOgretimPlani]
| [DersinKodu] | [DersinAdi] | [DersinTuru] | [Yil] | [YariYil] | [Ects] |
|---|---|---|---|---|---|
| EEMYL502 | MİKRO ELEKTROMEKANİK SENSÖRLER(MEMS) | Seçmeli Ders Grubu | 1 | 1 | 5,00 |
[DersinSeviyesi]
[YuksekLisans]
[DersDili]
Türkçe
[DersinAmaci]
Mikro sensörlerin üretiminde kullanılan temel tekniklerin tanıtımı, Çeşitli mikro mekanik sensörlerin kullanımı, çalışma prensipleri ve üretim teknikleri, Bir mikro mekanik sensörün tasarımı konularında bilgi sahibi olunması amaçlanmıştır.
[DersiVerenGorevli]
Dr. Öğr. Üyesi Önder Dincel
[OgrenmeCiktilari]
| 1 | .Temel silikon teknolojisi tabanlı mikro üretim tekniklerinin kavrar. |
| 2 | Temel sensörler hakkında bilgi sahibi olur. |
| 3 | Elektronik bağlantı ara yüzlerini tanır. |
| 4 | Paketleme işlemini gerçekleştirir. |
| 5 | Diagramlar ve membranlar hakkında bilgi sahibi olur. |
[OgrenimTuru]
Birinci Öğretim
[DersOnKosulu]
Yok
[OnerilenDigerHususlar]
-
[DersinIcerigi]
Temel silikon teknolojisi tabanlı mikro üretim teknikleri. Yüzey ve hacim micro şekil verme. Temel mekanik sensörler. Diagramlar ve membranlar. Kuvvet ve basınç sensörleri. İvme ve açısal değişim sensörleri. Akım sensörleri. Rezonant sensörleri. Elektronik bağlantı ara yüzleri. Paketleme.
[HaftalikDersIcerigi]
| [Hafta] | [Teorik] | [OgretimYontemVeTeknikleri] | [OnHazirlik] |
|---|---|---|---|
| 1 | Giriş | ||
| 2 | Mikro sensörlerde üretiminde kullanılan temel tekniklerin tanıtımı | ||
| 3 | Temel silikon teknolojisi tabanlı mikro üretim teknikleri | ||
| 4 | Çeşitli mikro mekanik sensörlerin kullanımı | ||
| 5 | Temel mekanik sensörler | ||
| 6 | Yüzey ve hacim micro şekil verme | ||
| 7 | Diagramlarve Membranlar | ||
| 8 | Arasınav | ||
| 9 | Kuvvet ve basınç sensörleri | ||
| 10 | İvme ve açısal değişim sensörleri | ||
| 11 | Akım sensörleri | ||
| 12 | Rezonant sensörleri | ||
| 13 | Elektronik bağlantı ara yüzleri | ||
| 14 | Paketleme |
[DersKitabi]
LIU, Chang. Foundations of MEMS. Pearson Education India, 2012. 2nd Edition
[PlanlananYontemler]
[Degerlendirme]
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | [Adet] | [Deger] |
|---|---|---|
| Ara Sınav | 1 | 40 |
| Ev Ödevi | 3 | 60 |
| [Toplam] | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | [Adet] | [Deger] |
| Final Sınavı | 1 | 100 |
| [Toplam] | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | 40 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | 60 | |
[StajDurumu]
-
[IsYukuHesaplamasi]
| [Etkinlikler] | [Sayisi] | [Suresi] | [ToplamIsYuku] |
|---|---|---|---|
| Ara Sınav | 1 | 2 | 2 |
| Final Sınavı | 1 | 2 | 2 |
| Derse Katılım | 14 | 3 | 42 |
| Ödev Problemleri için Bireysel Çalışma | 2 | 15 | 30 |
| Ara Sınav İçin Bireysel Çalışma | 1 | 10 | 10 |
| Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma | 1 | 10 | 10 |
| Okuma | 15 | 1 | 15 |
| Ev Ödevi | 3 | 6 | 18 |
| [ToplamIsYuku] | 129 | ||
[PCOCIliskisi]
| [PC] 1 | [PC] 2 | [PC] 3 | [PC] 4 | [PC] 5 | [PC] 6 | [PC] 7 | [PC] 8 | [PC] 9 | [PC] 10 | [PC] 11 | |
| [OC] 1 | 5 | 3 | 2 | 5 | |||||||
| [OC] 2 | 5 | 1 | 1 | 4 | |||||||
| [OC] 3 | 4 | 2 | 2 | 5 | |||||||
| [OC] 4 | 3 | 1 | 1 | 5 | |||||||
| [OC] 5 | 4 | 4 | 1 | 5 |
[PCOCAciklama]